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第277章 历史性时刻（第3页）

不过由于先前国内并不具有高端光刻机，所以一直没有办法实际测试。

今天总算能代替其真正价值。

只要表现的足够稳定，那么接下来便可以批量生产保证芯片的制造。

对此侯盛昌则最为高兴，想到因为徐昀科学院在光刻胶领域节省了大量时间和金钱，便让人心情舒爽。

要知道光刻胶可也是芯片制造中的重要环节，是必须要攻克的存在。

以往国内没有高端光刻机，也就未朝高端光刻胶领域过多发展。

进行研究的皆以低端光刻胶为主。

根本无法使用在光刻机上。

幸好徐昀机缘巧合下合成出了全新光刻胶，否则空有光刻机没有高端光刻胶，照样无法完成今天的测试。

哪怕成功交付，也解决不了半导体领域问题。

毕竟就算立刻投入大量精力去研究，也不见得能在短时间内研发出高端光刻胶。

“这次可要感谢徐教授的光刻胶啊，要不然今天的测试就只能进行到这步了。”

或许是侯盛昌心情不错，这个时候也不忘提起徐昀眼神中满是喜爱。

再一次为自己让徐昀担任项目负责人的重大决定感到庆幸。

说起来当初也正是徐昀的光刻胶在全球引起比较大的言论热度，他这才下定决心邀请徐昀过来研发首台国产极紫外光刻机。

这时旁边的罗长辉也忍不住说：“徐教授的光刻胶确实解决了我们很大问题。”

徐昀听着两人给自己戴高帽，心里也是哭笑不得。

当即开口回应道：“毕竟是新型光刻胶，具体能否达到稳定的效果，暂时还不得而知呢。”

他这话自然不是谦虚。

这种新型光刻胶从研发出来并没有经过实际的高端芯片测试，且目前生产出来的存量也有限，很多地方确实需要看最终结果。

比如对于晶圆厂来说最重要的成品率。

如果使用这种光刻胶光刻的芯片残次率较大，那就算光刻胶成本很低，也绝对不会继续使用。

这也是新型光刻胶很难在国际上有市场的原因。

基本晶圆厂绝对不会冒险。

否则所造成的损失将直接影响到利润。

侯盛昌这会显然已经对徐昀无比信任，闻言伸手拍了拍徐昀的肩膀宽慰道：“没有你就没有国产极紫外光刻机的今天，要多给自己点自信才行。”似乎丝毫不觉得今天测试会有问题。

随即光刻机将极紫外光通过镜片，照在前面准备好的集成电路掩膜版上。

将设计师绘制好的电路图曝光在晶圆上。

后面则需要溶解光刻胶。

使光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉。

清除后留下的图案和掩模上的一致，再进行蚀刻。

尽管到这一步已经非常繁琐，可后续还需经过离子注入电镀抛光覆盖层数，直至制造出布满芯片的晶圆。

虽然这个等待的过程比较枯燥，徐昀侯盛昌等人却没有丝毫的不耐烦。

在晶圆参考电路图案和每一块芯片进行对比测试后便开始切片。

并丢弃瑕疵芯片。